要找到靠譜的超純水設備廠家，可以采取以下步驟：

市場調研：進行市場調研，了解超純水設備行業的主要廠家和品牌。閱讀相關行業資訊、報道和評論，了解它們的聲譽和口碑。

參考推薦和口碑：向同行業的專業人士、供應鏈伙伴或其他相關方尋求建議和推薦。他們可能有與超純水設備廠家合作的經驗，能夠分享他們的意見和建議。

了解廠家資質：查閱超純水設備廠家的官方網站，了解其企業資質、注冊情況和行業認可。檢查其是否具備相關的認證和資質，例如ISO 9001質量管理體系認證、ISO 14001環境管理體系認證等。

產品質量和技術支持：重視廠家的產品質量和技術支持能力。查閱廠家的產品手冊、技術規格和案例研究，了解其產品的性能、特點和應用范圍。確保廠家能夠提供完善的售后服務和技術支持。

參觀工廠或實地考察：如果條件允許，可以親自參觀超純水設備廠家的工廠或實地考察其生產基地。這樣可以直觀了解其生產設備、生產工藝和質量控制體系。

客戶案例和參考：詢問廠家提供客戶案例或參考，了解他們在類似行業或應用領域的成功經驗和合作項目。

客戶反饋和評價：查閱廠家的客戶反饋和評價，可以通過閱讀在線評論、產品評級和論壇討論等方式獲取客戶的真實反饋。

與多個廠家溝通：與多個超純水設備廠家進行聯系和溝通，提出您的需求，并要求他們提供詳細的產品信息、報價和技術支持文件。通過比較和評估，選擇與您需求匹配的靠譜廠家。

在選擇超純水設備廠家時，要考慮產品質量、售后服務、技術支持、信譽和價格等因素。綜合考慮這些因素，選擇一家有資質、經驗豐富、信譽良好且能夠滿足您需求的超純水設備廠家。