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半導體超純水設備 保障半導體高質量發展

2023年4月28日 11:51

談論起超純水的復雜工藝,涉及多門學科,包括物理、化學、光化學、機械、空氣動力學等,依各種原水水質和客戶要求的不同,超純水的制備工藝大體分為預處理、初級制備和拋光處理三個步驟。整個制造過程中采用的工藝技術復雜而精細,不容偏差,制備難度涉及至少...